氟系清洗剂主要有HCFC(含氢氟氯化碳)、HFC(含氢碳氟化物)、HFE(氢氟醚)、PFC(全氟化碳)等。其中HFC，HFE，PFC本身不具有清洗力，怀化红胶清洗，需要和其它化合物组合后才能使用。该类清洗剂具有与CFC-113接近的清洗性能，稳定。低毒。不燃。安全可靠，但是通常价格昂贵。HCFC对臭氧层有一定的影响，大量使用的有HCFC-141B、HCFC-225。属于过渡性替代品，终还要被禁用;HFC和HFE类清洗剂过于稳定。在大气中的寿命高达数千年甚至几万年。是非常厉害的温室气体。在<;京都议定书>;正式生效以后，可能也要被限制使用。
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清洗剂的ODP为0.006，在大气中寿命为11天，几乎没有GWP值。关于毒性还有争论，联合国环境规划署（UNEP）已经组织进行了5年多的实验。实验结果与理论分析有很大差异。美国环保局在2002年3月27日发布的政策中明确接受NPB作为溶剂用于清洗、气雾和胶粘剂。但是由于对其毒性尚无确切的数据，在使用中应当控制在空气中的暴露浓度。
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